傳統方法中,直接噴淋純水和循環(huán)沖洗雖能在一定程度上消除靜電,卻存在諸多弊端。其電阻率易受溫度、濕度以及設備老化等因素影響,穩(wěn)定性差,導致靜電防護效果時好時壞,增加了產品因靜電損壞的風險。維護成本也相當高昂,定期的水質檢測需采購昂貴的設備和試劑,過濾設備、離子交換樹脂等耗材的更換頻繁,人工成本也不容小覷,給企業(yè)帶來沉重負擔。而且,它對環(huán)境要求苛刻,生產車間需嚴格控制潔凈度,純水儲存和輸送需特殊容器和管道,限制了應用場景。此外,一旦出現靜電突發(fā)狀況,由于純水制備和循環(huán)耗時,應急響應能力不足,難以在關鍵時刻保護產品和設備。
在半導體純水防靜電領域,采用新型無氣泡的膜加氣技術。讓高純度二氧化碳均勻溶解到超純水中。二氧化碳溶解于純水中,會形成碳酸根離子,使得水箱中純水的電阻率大幅度降低,防止在半導體材料劃片制程、清洗過程中產生靜電損傷產品,消除切割微粒的靜電吸附便于清洗。產品清洗烘干后,二氧化碳會揮發(fā)不殘留任何雜質,不造成污染。
無氣泡膜加氣技術所用的膜是一種疏水性膜。膜的一側為二氧化碳,另外一側走水。二氧化碳可以自由穿過膜而均勻溶解到水里,水側的水及離子不能透過膜,通過精密調節(jié)控制二氧化碳的量,可以實現精確控制水側二氧化碳的濃度,從而精確調節(jié)超純水的電阻率。
加氣膜在半導體純水防靜電方面發(fā)揮了顯著作用:
無二次污染:采用高純二氧化碳氣體作為降低電阻的物質引入超純水中,烘干后二氧化碳可以完全揮發(fā),不殘留任何雜質。不會對產品造成二次污染。
精準控制:通過加氣膜組件可以快速、穩(wěn)定、精確地控制二氧化碳溶解量,節(jié)省二氧化碳消耗,滿足用水電阻要求。
使用壽命長:加氣膜性能穩(wěn)定,具有很長的使用壽命,減少了設備故障和停機時間,降低了維護成本,為半導體制造提供了有力保障。
國初科技(廈門)有限公司自成立以來,以膜分離技術為核心,致力于新型分離技術推廣,不斷探索新型膜分離技術在生物制藥、微電子、冶金、化工、機械、食品、乳品、飲料、環(huán)境等領域的新應用,根據不同客戶的高度差異化需求,提供針對性的過濾及純化綜合解決方案,提高產品的品質,滿足客戶的需求。